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高純度濕電子化學品過濾解決方案

更新時間:2023-09-04瀏覽:2035次

 

 

  濕電子化學品,被稱為微電子產(chǎn)業(yè)的“工業(yè)味精”,是重要的支撐材料之一,其品質直接影響電子產(chǎn)品的成品率、電性能及可靠性,也對先進制造技術的產(chǎn)業(yè)化有著深遠的影響,具有較高的產(chǎn)品附加值和技術門檻。

  濕電子化學品分類標準 
 
  目前,我國的濕電子化學品通常執(zhí)行SEMI國際標準,其關鍵技術指標包括單項金屬雜質、非金屬離子、顆粒數(shù)等,另外根據(jù)不同產(chǎn)品特點會相應增加其他一些技術指標。
 
  按照SEMI等級的分類,濕電子化學品可劃分為G1-G5五個等級。應用領域不同,對微電子化學品的純度要求也有所不同。

 

 
  濕電子化學品下游應用 
 
  濕電子化學品下游主要應用領域包括半導體、顯示面板及光伏等,終端場景主要應用于電子信息產(chǎn)品,例如智能手機、智能電視、智能汽車、電腦等。濕電子化學品的三個主要應用領域對產(chǎn)品的等級要求有所不同:
 
  半導體領域:純度要求較高,基本集中在SEMIG3、G4、G5水平,我國的研發(fā)水平與國際尚存在較大差距。其中分立器件對超凈高純試劑純度的要求要低于集成電路,基本集中在SEMIG2級水平,國內(nèi)企業(yè)的生產(chǎn)技術能夠滿足大部分的生產(chǎn)需求;8英寸及以下晶圓制程的中低端領域要求達到 G3、G4 水平,大硅片及12英寸晶圓制程的部分高端領域要求達到G5等級。
 
  平板顯示和LED領域:等級要求為SEMIG2、G3水平,國內(nèi)企業(yè)的生產(chǎn)技術能夠滿足大部分的生產(chǎn)需求。
 
  光伏太陽能電池領域:一般只需要SEMIG1級水平,是目前國產(chǎn)超凈高純試劑的主要市場。

  濕電子化學品工藝流程 
 
  電子濕化學品的主要工藝流程包括原料接收、純化、吸收、混配等工藝,制得的成品包裝入包裝桶或槽車中,檢驗合格后入庫。濕電子化學品對純度和潔凈度要求很,在生產(chǎn)、檢測、包裝、運輸各環(huán)節(jié)均有嚴格要求,其中的純化技術更是關鍵點,直接影響產(chǎn)品品質。
 
  濕電子化學品品種眾多,產(chǎn)品制備工藝、設備要求各不相同,需根據(jù)不同品種特性確定工藝路線。提純工藝段主要采用蒸餾、亞沸蒸餾、等溫蒸餾、減壓蒸餾以及升華、化學處理、氣體吸收等技術,分離金屬雜質。采用超微過濾器(PTFE膜)過濾除去顆粒性雜質。結合不同的顆粒、金屬雜質、非金屬雜質分析測試技術以達到相應標準的潔凈度。

 

 
  優(yōu)異的過濾工藝提升濕電子化學品品質 
 
  Ezinstall PFA Housing

 

 

 
  電子化學品性質多樣性,要求過濾產(chǎn)品必須有廣泛的化學兼容性,大立 自主研發(fā)的PFA Housing采用全氟結構,化學性能穩(wěn)定,能適配高腐蝕性、高溫度、高壓強的過濾環(huán)境,低殘留, 同時PFA全氟濾殼結構經(jīng)過優(yōu)化,安裝便捷,濾芯更換方便,有利于在生產(chǎn)中減少停機時間。
 
  BTF-All Fluoropolymer Filter Cartridges

 
  同樣采用全氟配件制成的BTF系列濾芯,在酸、堿及其他苛刻的化學料液過濾工藝段都有著穩(wěn)定的過濾表現(xiàn),超大的過濾面積高性能濾材在確保超高的截留性能的同時也為產(chǎn)品提供了很好的通量。全氟結構設計保證產(chǎn)品的超低析出,很大程度保證產(chǎn)品的潔凈度。

 

 

 

 

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